小型真空等离子清洗机

序号

项目类型

具体参数

1

等离子体发生器

中频40Khz 中频功率100~300W

2

等离子反应控制软件

全自动系统控制

3

真空反应腔体

腔体内部尺寸：Φ150*H265mm

腔体材质：304不锈钢材质

4

电极

双层电极板结构设计。

反应电极面积：可定制

5

真空泵

双极直联旋片真空泵      抽气速率：14.4m3/H

极限真空：6*10^-2Pa      功率：0.55KW

6

管路及组件

真空管路：304不锈钢真空波纹管

工作气体管路组件：PVC透明软管+304不锈钢接头，保证设备高效运行和可靠性。

7

真空计

松下数显表

8

气体控制

2路工艺气体，电磁阀控制，机械式手动调节0.1～1NL/min

9

等离子体工艺气体

支持两路工艺气体：氩气、氧气 （氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳可选）

10

控制方式

4.3寸工业级控制触摸屏，实时显示工作状态

11

抽真空时间

10s左右   压力<50Pa

12

破真空系统

电磁阀+消音器

破真空时间：10s

13

单次处理时间

1-9999分钟不等（根据产品特性，功率、时间设定不同）

14

电极材料

定制铜电极

15

其他参数

电源： AC 220V

整机：高品质防锈喷漆